硅基太阳能电池场效应钝化的模拟研究_微电子学.doc

摘要:在过去的十几年里,高效硅太阳能电池的发展引起了研究人员的极大关注.许多研究人员、科学家和工程师在学术界和产业界寻求提高电池效率和降低成本的方法.这种渴望主要来自于资助机构和行业的需求，这刺激了越来越多的主要研究基础设施的项目，并且促使人们发表了更多数量的出版物.

　　　能否减少硅表面钝化的电子复合损失，对能否实现高效太阳能电池来说是至关重要的.现在，人们已经意识到了在实验室和工业模式下，在氧化铝薄膜太阳能电池中实现超薄和高效的重要性.最近表面钝化的研究已经取得了进展，这允许工业太阳能电池能够达到更高的效率水平，在不久的将来，对于太阳能电池产业来说，实现低成本的太阳能发电是至关重要的.

　　　现在的高效硅基太阳能电池一般都会采用场效应钝化和化学钝化，以双重效果来降低硅基表面或界面的表面复合损失.其中，场效应钝化的作用最明显，被研究的也最多.我的论文将利用PC1D来重点研究场效应钝化的一些物理参数.

关键词：场效应钝化；高效硅基太阳能电池；复合损失

目录

摘要

ABSTRACT

第1章 绪论-1

第2章 表面钝化-3

2.1 表面钝化-3

2.1.1 表面钝化作用机制-3

2.2 表面钝化材料-4

2.2.1 二氧化硅-4

2.2.2 a-SiNx:H-4

2.3 表面钝化高效太阳能电池-5

2.4 Al2O3表面钝化-6

2.4.1 钝化性能-6

2.4.2 膜厚度的影响-8

第3章 合成方法与工艺参数-11

3.1 合成方法-11

3.1.1 原子层沉淀-11

3.1.2 化学气相沉淀-12

3.2 工艺参数-12

3.2.1 ALD工艺参数-12

3.3 基本机制-14

3.3.1 缺陷钝化-14

第4章 PC1D-17

4.1 PC1D的介绍-17

4.1.1 PC1D背景介绍-17

4.1.2 PC1D的优缺点-17

4.1.3 PC1D的原理-18

4.2 PC1D的参数设置-18

4.2.1 PC1D参数设置-18

4.2.2 REGION-21

4.2.3 PC1D激发模块-23

4.2.4 具体说明PC1D的参数设置-25

4.3 本章小结-28

第5章 结论与展望-29

5.1结论-29

5.2不足之处及未来展望-29

参考文献-31

致  谢-32