非晶硅光伏电池片制作工艺的研究.doc

【摘要】本文主要对非晶硅光伏电池的性能参数进行理论分析，研究非晶硅光伏电池的制作工艺流程，主要改变I层厚度和激光刻蚀的工艺参数，得出在I层厚度为300nm下，电池性能会有所提高；改变激光刻蚀工艺中激光的波长，使用355nm的紫外激光刻蚀，能有效减小激光引起的热效应和晶化范围，提高非晶硅光伏电池的稳定性。

【关键词】 非晶硅；光伏电池；I层厚度；激光刻蚀

目录

摘要

Abstract

引    言-1

1太阳能光伏电池-1

1.1光伏电池的基本工作原理-1

1.2光伏电池的种类-2

1.3光伏电池的发展趋势- 2

2.非晶硅光伏电池-3

2.1非晶硅结构-3

2.2非晶硅光伏电池的原理与结构-4

    2.3非晶硅光伏电池的性能参数-5

3.非晶硅光伏电池片制备的研究-7

3.1非晶硅材料的制作工艺-7

3.2非晶硅光伏电池片的制作及工艺-7

4.非晶硅光伏电池片工艺的研究-9

4.1I层厚度的研究-9

4.2激光刻蚀工艺的研究-11

5.非晶硅光伏电池的总结与展望-12

参考文献-14