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2022年03月14日 更新 “IEDF论文”相关信息

ICP放电中离子轰击的IEDF研究.docx

常见的ICP源有两种，一种是将线圈缠绕在等离子体反应室的柱面上，如图1.1（a）所示，第二种ICP源是采用把电感线圈放在反应室的上面，如图1.1（b）所示，称为平面线圈，其加速电子的...
分类：工业大学 - 字数：12350
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