背景气体温度对ICP等离子体的影响.doc

等离子体按温度的高低，又可分为高温等离子体和低温等离子体。一般来说，等离子体中的粒子温度大于~K称为高温等离子体，如太阳、热核聚变等离子体[2]。而低温等离子体一般又分为...

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ICP放电中离子轰击的IEDF研究.docx

常见的ICP源有两种，一种是将线圈缠绕在等离子体反应室的柱面上，如图1.1（a）所示，第二种ICP源是采用把电感线圈放在反应室的上面，如图1.1（b）所示，称为平面线圈，其加速电子的...

分类：工业大学 - 字数：12350

例如进化汽车尾气方面有着不错的利用，当汽车排出尾气时就会伴随着放电此时就会击穿空气同时就会形成等离子体，在汽车排出的废气中既有带正电粒子又有带负电的粒子，此时这些...

分类：工业大学 - 字数：8713

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