基于MEMS陀螺仪的旋转工作台设计.doc

传统的电机控制系统是采用模拟元件控制的，虽然能够满足一般要求的生产条件，但因为模拟元件在使用过程中易受外界因素的干扰影响，也会随着使用年限的增加而性能降低逐渐老化...

分类：单片机论文 - 字数：15703

基于MEMS的测斜传感器.doc

结合实际生产中的科研课题，开展理论研究，设计一种基于单片机技术的定向装置。它属于一种三自由度定位装置，由加速度传感器、磁阻式磁强传感器和单片机组成，以I2C作为通信方...

分类：单片机论文 - 字数：17325

对传统的 MEMS 陀螺仪操作模式，为实现驱动模态最低能耗获得最高增益这一目的，要求激励电压与驱动模态产生谐振[14]，同时，为了得到更精确的输出角速度，驱动模态的信号应该与敏...

分类：科技学院 - 字数：13512

为了得到更精确的输出角速度，驱动模态的信号应该与敏感模态的谐振频率一致，此时系统灵敏度达到最高。然而 MEMS 制造加工工艺的不足和复杂的现场应用环境可能会导致各滑模面模...

分类：科技学院 - 字数：14361

图2.2所示为MEMS电容式传感器测量原理示意图。MEMS电容传感器的基本原理是将被测量的变化转换成传感器元件电容量的变化，再经过测量电路将电容量的变化转换成电信号输出...

分类：工业设计 - 字数：13579

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