摘要:目前,跨尺度运动越来越多地被应用于纳米技术中,成为了该技术的一种基础条件。跨尺度运动的特点是运动行程达到毫米量级,而运动的分辨率达到纳米量级,目前已广泛应用于微型机械制造、超精密加工中。现阶段,跨尺度运动主要包括粘滑驱动和惯性粘滑驱动。而在惯性粘滑驱动技术中,摩擦形式对运动性能的影响是非常大的。本文在这样的背景下,提出了基于惯性粘滑驱动的不同摩擦形式对运动性能的影响研究。本文主要讨论摩擦形式对惯性粘滑运动性能的影响,首先介绍惯性粘滑原理,然后建立摩擦力模型,最后仿真模拟各个摩擦形式下的运动性能,并通过实验验证得出结论。
在惯性粘滑驱动摩擦机理方面,阐述了惯性粘滑驱动原理:利用压电陶瓷两端加电压后发生形变的特性,在压电陶瓷上加阶跃信号,在阶跃信号的上升沿,陶瓷产生较大形变,产生的力大于滑块与地面之间的静摩擦力,惯性快和滑块向相反方向运动,从而发生位移。在阶跃信号的下降沿,由于斜率小,产生的力小于滑块与地面间的静摩擦力,因此滑块保持静止。上述两个过程构成一个运动周期,在每个周期内只有第一阶段发生位移,第二个阶段滑块静止而惯性快运动,进入到下一个周期中。
在惯性粘滑驱动系统建模及仿真方面,讲解压电陶瓷、驱动电路、摩擦机理等关键问题。介绍常用的摩擦模型,并分析得出本文使用Lugre模型+stribeck效应来建模。运用matlab解释该模型中的参数识别方法。 借用已有整体运动模型,并用simulink建模。
最后,惯性粘滑驱动系统实验研究方面,主要通过对比实验。分别在线面的摩擦形式下测多组速度V与稳态摩擦力Fss,并通过前文所述的识别方法,即建立一个参数向量,构造目标函数,该向量由三个摩擦参数所组成,将参数识别问题转化为使目标函数值最小的问题。由matlab中遗传算法,得到系统整体动力学的输入量Fc,Fs,Vs。 然后将参数输入模型进行仿真,与实验结果比对,得出结论。
关键词:压电陶瓷;惯性粘滑驱动;摩擦模型;微驱动;跨尺度
目录
摘要
Abstract
第一章 绪论-4
1.1课题背景及意义-4
1.2国内外研究现状-4
1.2.1惯性粘滑驱动平台研究-4
1.2.2惯性粘滑驱动摩擦机理研究-5
1.3研究内容-7
第二章 惯性粘滑驱动摩擦机理研究与摩擦模型8
2.1惯性粘滑驱动原理-8
2.2 摩擦模型建模-9
2.2.1各类摩擦模型-9
2.2.2 Lugre模型介绍-9
2.2.3Lugre模型的参数识别-10
2.3本章小结-11
第三章 在三种摩擦形式下的动力学建模与仿真13
3.1惯性粘滑驱动系统建模-13
3.2不同摩擦形式下的参数识别与仿真模拟-15
3.3本章小结-21
第四章 实验平台设计与比对22
4.1实验平台设计-22
4.1.1面摩擦平台设计-22
4.1.2线摩擦平台设计-22
4.2实验结果与仿真对比-24
4.3本章小结-25
第五章 总结与展望.-26
5.1论文总结-26
5.2研究展望-26
参考文献.28
致谢. . . 30