a-IGZO TFT 的光照特性研究.doc

摘要:a-IGZO TFT现如今作为平板显示核心的组成部分，具有载流子迁移率高、稳定性及均匀性好等方面的优势。不过，作为透明器件，光照对它的影响不容小觑。在本文中，我们将在单独光照，不同波长和不同光强的条件下分别进行试验研究其退化现象，在实验中我们可以看到在蓝光，红光，绿光光照条件下的退化以及不同光强下的蓝光对其造成的退化。通过红绿蓝三种光的对比，我们发现，不同波长的光对器件的退化都会造成影响。这些都与a-IGZO中的氧空位的特性有关。通过控制蓝光的光强，我们可以发现，器件的退化主要与器件表面受到的曝光量有关。

关键词: 薄膜晶体管、光照、氧空位、光强 

目录

中文摘要

Abstract

第一章 绪论-2

1.1 薄膜晶体管概论-2

1.2 本文研究背景-4

第二章 研究背景与实验介绍-5

2.1 a-IGZO的退化研究和实验介绍-5

2.2 实验介绍-8

第三章 a-IGZO TFT的光照特性研究-12

3.1 光照对a-IGZO TFT的影响-12

3.2 栅偏压对器件漂移的影响-13

3.3 光强对a-IGZO TFT的影响-13

3.4 波长对a-IGZO TFT的影响-13

3.5 结果与分析-19

结论-22

参考文献-23

致谢-24