激光直写扫描微纳织构研究.doc

摘要:关于材料表面织构技术的研究已经成为近些年的热点，研究表明，表面织构技术能够改善材料表面的摩擦性能、润滑性能以及改善农耕机具粘附阻力。该技术可以广泛应用到机械加工领域。所以，降低表面织构加工技术的加工成本、提高表面织构加工技术的精度就是近些年来国内外研究学者的研究重点。

本课题是采用纳秒激光对硅片表面进行微纳织构的加工，通过改变纳秒脉冲激光的电流大小、激光速度、以及硅片之间的线间距来获得对硅片表面微纳织构加工的稳定控制，以获得不同颗粒大小、不同形貌、不同均匀性的材料表面织构特征。采用显微手段对实验效果进行观察，对实验结果进行描述，分析纳秒激光参数和材料本身性质对加工材料表面织构特征的影响规律。

关键词  纳秒脉冲激光；织构；硅片

目录

摘要

Abstract

1 绪论-1

1.1 表面织构技术的提出-1

1.2 表面织构技术的研究进展与应用现状-3

1.3材料表面织构加工技术分类-4

1.3.1磨料气射流技术-4

1.3.2电火花加工技术-5

1.3.3电解加工技术-6

1.3.4掩模电解加工技术-7

1.3.5脉冲激光加工技术-8

1.4 纳秒脉冲激光加工原理-9

1.5本课题研究的主要内容和意义-12

2 纳秒脉冲激光加工微织构研究实验系统-13

2.1纳秒脉冲激光加工系统-13

2.2扫描电子显微镜-16

3纳秒脉冲激光加工实验方案-17

3.1实验材料-17

3.2实验方法-17

3.3实验结果分析-18

3.3.1纳秒脉冲激光电流对实验结果的影响-18

3.3.2纳秒脉冲激光速度对实验结果的影响-19

3.3.3硅片表面线间距对实验结果的影响-21

3.3.4实验结论-24

4总结与展望-25

致谢-26

参考文献-27